下载一种发光二极管外延片及其制备方法的技术资料

文档序号:18291254

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本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底以及依次层叠在衬底上的缓冲层、未掺杂氮化镓层、N型氮化镓层、应力调控层、多量子阱层、电子阻挡层和P型氮化镓层,应力调控层包括多个第一子层和多个第二子层,多个第一...
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