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本发明公开了一种镶嵌式TiO2纳米棒簇图形阵列提高LED发光效率的方法，包括以下步骤：(1)制备LED外延片；(2)在外延片的p型GaN层上制作光刻胶和SiO2双层周期孔图形模板；(3)刻蚀p型GaN周期孔；(4)制作周期排布的镶嵌式TiO...
该专利属于青岛科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过青岛科技大学授权不得商用。

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