下载硅片烘干炉的硅片传送装置的技术资料

文档序号:18286113

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本实用新型涉及太阳能电池硅片生产技术领域,尤其是涉及硅片烘干炉的硅片传送装置,该硅片传送装置基于链条传动构建,具有链条、链轮及组装在链条上并跟随链条移动的载具,载具上设有实现硅片侧立置放的U形槽,载具满足硅片的正面和背面受热烘干;链轮啮合链...
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