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制备具有密堆积结构的纳米超薄晶片的方法，采用气相团簇束流源产生颗粒直径在１－５０纳米之间尺寸分布集中的纳米团簇束流，以纳米晶片的材料压制成为溅射靶材，并将其电离，加速，使得从其出发到衬底时的纳米颗粒能量在接近或刚超过颗粒的整个结合能的区间，...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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