温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及用于硅结晶的坩埚，并涉及用于处理在坩埚中凝固然后作为晶锭取出的熔化材料的坩埚防粘涂层的制备与应用，更具体地涉及用于多晶硅的结晶的坩埚的防粘涂层。发明人的目的为提供无须在最终用户设备上制备非常厚的涂层的坩埚，其生产过程更快成本更低，...
该专利属于维苏维尤斯.克鲁斯布公司所有，仅供学习研究参考，未经过维苏维尤斯.克鲁斯布公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。