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本发明公开了一种用于制备区熔大直径单晶的加热线圈。该线圈中心为贯通线圈上下表面的圆环状针眼，在该针眼的外周等间隔开设有四个贯通线圈上下表面的导流缝，其中一个导流缝延伸至线圈外，与连接电极的法兰连接；其余三个导流缝的结构是：与针眼相接的部分为...
该专利属于有研半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研半导体材料有限公司授权不得商用。

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