下载钕铁硼产品表面复合防护方法的技术资料

文档序号:18250849

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本发明提供了钕铁硼产品表面复合防护方法,步骤包括:1)将经过预处理后的钕铁硼基体放入反应室,设置镀膜工艺参数;2)通入氩气作为溅射气体,对Al靶材预射10~20min后,对钕铁硼基体进行镀Al膜;3)Al膜镀完后,对SiC烧结靶靶材预射10...
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