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公开了一种LDMOS晶体管及其制造方法,包括:在第一掺杂类型的衬底上形成第一掺杂类型的外延层;在外延层的上表面形成栅极结构;在外延层内形成第一掺杂类型的体区以及第二掺杂类型的漂移区,在体区内形成第二掺杂类型源区;在外延层上表面以及栅极结构上...该专利属于矽力杰半导体技术(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽力杰半导体技术(杭州)有限公司授权不得商用。
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公开了一种LDMOS晶体管及其制造方法,包括:在第一掺杂类型的衬底上形成第一掺杂类型的外延层;在外延层的上表面形成栅极结构;在外延层内形成第一掺杂类型的体区以及第二掺杂类型的漂移区,在体区内形成第二掺杂类型源区;在外延层上表面以及栅极结构上...