下载一种硅片置中装置的技术资料

文档序号:18234984

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本实用新型公开了一种硅片置中装置,包括:初次定位机构;二次定位机构;以及沿直线方向单向传送的传送机构,其设于二次定位机构当中,其中,初次定位机构设于传送机构的上游,二次定位机构包括左定位导轨及右定位导轨,左定位导轨与右定位导轨平行且间隔设置...
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