下载晶圆片去胶机的技术资料

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本实用新型公开了一种晶圆片去胶机,包括本体,所述本体侧面设有工件花篮进料口和出料口,所述本体正面设有透视窗,所述本体内设有清洗槽和机械手装置,所述机械手装置自动将工件花篮放入清洗槽内清洗,然后传送到下个清洗槽进行清洗,所述清洗槽包括依次设置...
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