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本实用新型公开了一种防堵片硅片风干装置，其特征在于，包括工作台、运输机构、吹风机构以及检测报警机构；所述运输机构包括多个依次设置在所述工作台上的辊轮组，所述辊轮组包括上辊轮以及下辊轮，所述上辊轮和下辊轮之间形成硅片运输辊道；多个所述辊轮组沿...
该专利属于中硅索纳（厦门）新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中硅索纳（厦门）新能源有限公司授权不得商用。

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