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多晶硅铸锭炉漏硅防护结构制造技术
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文档序号:18224354
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本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备,旨在提供一种多晶硅铸锭炉漏硅防护结构。该防护结构包括由阻燃固化毡制成的保护管,保护管包围在水冷铜管外部;在保护管上由内向外依次设置内层石棉、不锈钢支撑圈和外层石棉,并在外层石棉上以钼丝缠绕实现固定;在多晶炉下...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。
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