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用于通过使用彼此平行设置的多管来从等离子体束中过滤掉大颗粒来改善来自电弧离子蒸发器或阴极电弧源的等离子束的质量的装置。...
该专利属于苏拉萨克·苏仁峰所有，仅供学习研究参考，未经过苏拉萨克·苏仁峰授权不得商用。

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