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二维材料柔性衬底结构、焦平面光探测器阵列及制作方法技术
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文档序号:18206821
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本发明提供一种二维材料柔性衬底结构、焦平面光探测器阵列及制作方法,所述二维材料柔性衬底结构包括:支撑衬底;二维材料层,位于所述支撑衬底表面;图形化柔性衬底,位于所述二维材料层表面;所述图形化柔性衬底为包括若干个间隔分布的图形单元。本发明的二...
该专利属于超晶科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过超晶科技(北京)有限公司授权不得商用。
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