下载一种具有气体检测功能半导体器件的技术资料

文档序号:18206678

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本发明提供了一种具有气体检测功能半导体器件,包括:硅基底,其具有一由刻蚀形成的凹槽;形成在凹槽内的绝缘层,在绝缘层内设置有导线,导线暴露在绝缘层的表面,用于将阵列气体传感器与外部电路连接;阵列气体传感器,其形成在绝缘层的底表面,并以阵列的方...
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