下载一种芯片贴装装置及方法的技术资料

文档序号:18206579

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本发明提供一种芯片贴装装置及方法,该装置包括:晶圆台,晶圆台能够在其所在的平面内移动;与晶圆台平行相对设置且能在其所在平面内移动的基料台;设于晶圆台与基料台间的旋转拾放机构,旋转拾放机构设有可活动键合部,键合部能从晶圆台拾取芯片并将其贴装在...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

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