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本发明公开了一种类金刚石碳基薄膜及其制备方法，其中，制备方法包括：步骤1，在预设的基板表面制备过渡层；步骤2，以石墨‑铜靶为溅射靶材，通入Ar/H2，按照预设工艺参数在所述过渡层表面制备Cu‑DLC薄膜层。所述类金刚石碳基薄膜及其制备方法，...
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