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半导体元件用外延基板、半导体元件和半导体元件用外延基板的制造方法技术
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文档序号:18179557
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本发明提供一种抑制了电流崩塌的发生的半导体元件用外延基板。半导体元件用外延基板包括:包含掺杂有Zn的GaN的半绝缘性自立基板、与上述自立基板邻接的缓冲层、与上述缓冲层邻接的沟道层、和夹着上述沟道层而设置在与上述缓冲层相反一侧的势垒层,上述缓...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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