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力觉传感器制造技术
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文档序号:18178018
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本申请提供一种力觉传感器,检测XYZ三维坐标系中的各轴方向的力及各绕轴的转矩的各分量的至少一个分量,力觉传感器包括:支承体,配置于XY平面上;变形体,接合于支承体;以及检测电路,输出电信号,该电信号表示作用于变形体的力。变形体具有:第一变形...
该专利属于三角力量管理株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三角力量管理株式会社授权不得商用。
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