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提供三维测量装置，当利用相移法进行三维测量时，能够显著地提高测量精度。基板检查装置(1)包括：照明装置(4)，从斜上方向印刷基板(2)的表面投影预定的条纹图案；相机(5)，拍摄印刷基板(2)上的投影了条纹图案的部分；以及控制装置(6)，实施...
该专利属于CKD株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过CKD株式会社授权不得商用。

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