下载真空涂布系统中涂布超长片型基材,特别是玻璃板,装置及方法的技术资料

文档序号:18176240

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本发明是关于在真空涂布系统中涂布超长片型基材,特别是玻璃板,的装置与方法,所述系统具有下列特征:a)设置在入口侧上的一系列连接的腔室,其由每一基材平板(9)通过,即锁定腔室(1)、缓冲腔室(2)以及传送腔室(3),其中这些腔室中的每一个腔室...
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