温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种即使将金属氧氮化物中含有的氮量控制为很低，也可以兼备高相对介电常数和高绝缘性的电介质薄膜。该电介质薄膜由具有钙钛矿结构的电介质组合物构成，电介质组合物具有由化学式MazMbOxNy(Ma为选自Sr、Ba、Ca、La、Ce、Pr...
该专利属于TDK株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过TDK株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。