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本发明涉及用于Si单晶锭生长的卓克拉尔斯基拉晶仪设备，其包括卓克拉尔斯基拉晶仪(3)、SiOx粉尘过滤器系统(5)、和连接至所述SiOx粉尘过滤器系统(5)下游的真空泵(9)，SiOx粉尘过滤器系统(5)包括：‑至少一个具有如下的第一过滤支...
该专利属于道达尔销售服务公司所有，仅供学习研究参考，未经过道达尔销售服务公司授权不得商用。

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