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经过附加处理的热引导沟槽制造技术
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下载经过附加处理的热引导沟槽的技术资料
文档序号:18140632
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本申请涉及经过附加处理的热引导沟槽,其中公开了一种集成电路(100),其具有包括半导体材料(104)的衬底(102)以及设置在衬底(102)之上的互连区(106)。该集成电路(100)包括衬底(102)中的热引导沟槽(130)。热引导沟槽(...
该专利属于德克萨斯仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德克萨斯仪器股份有限公司授权不得商用。
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