下载太阳电池平板式PECVD设备辅助工装的技术资料

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一种太阳电池平板式PECVD设备辅助工装,包括方形硅基片底板和方形硅基片盖板,在底板中部设有30mm×30mm的方形孔,在盖板中部设有50mm×50mm的方形孔。采用本实用新型太阳电池平板式PECVD设备辅助工装,只需使用3英寸的圆片即可完...
该专利属于上海太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海太阳能科技有限公司授权不得商用。

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