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一种由铝合金构成的溅射靶，其中：作为合金成分，包含０．１～６原子％的从由Ａｇ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｎｉ构成的一组中选择的至少一种，并且包含０．１～６原子％的从由Ｎｄ、Ｙ、Ｆｅ、Ｃｏ构成的一组选择的至少一种。...
该专利属于株式会社神户制钢所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社神户制钢所授权不得商用。

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