下载多晶硅生产过程中的热能利用系统和方法的技术资料

文档序号:18129432

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本发明提供一种多晶硅生产过程中的热能利用系统,其包括闪蒸槽、还原炉水泵、冷水泵进口调节阀、冷水泵、冷水换热器、热水泵进口调节阀和热水泵。相应地,提供一种多晶硅生产过程中的热能利用方法。本发明能够在多晶硅生产过程中的吸附柱再生环节减少甚至避免...
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