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多晶硅生产过程中的热能利用系统和方法技术方案
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文档序号:18129432
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本发明提供一种多晶硅生产过程中的热能利用系统,其包括闪蒸槽、还原炉水泵、冷水泵进口调节阀、冷水泵、冷水换热器、热水泵进口调节阀和热水泵。相应地,提供一种多晶硅生产过程中的热能利用方法。本发明能够在多晶硅生产过程中的吸附柱再生环节减少甚至避免...
该专利属于新特能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。
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