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本发明提供用以产生汽化的液态前体材料的方法与设备。该方法与设备可作为化学气相沉积设备或系统的一部分。该方法与设备包括提供一用来容纳液态前体（２１１）的容器（２１８）以及扩散组件（２３２），其中该扩散组件的外剖面尺寸基本上等于该容器的内剖面尺...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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