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本实用新型属激光制膜技术领域。是一种采用激光法制膜过程中用于消除薄膜表面和内部颗粒，并在制膜后用于膜层再构的装置。本实用新型提供一种由激光器，真空室，可控聚焦透镜，可控靶－反射镜联动部件，加热器等组成的镀膜系统用的激光自动消颗粒装置。本实用...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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