下载耦合尺蠖仿生与寄生运动原理的压电定位平台及控制方法的技术资料

文档序号:18118957

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本发明涉及一种耦合尺蠖仿生与寄生运动原理的压电定位平台及控制方法,定位平台中的驱动单元、动子单元及钳位单元分别与基座连接,动子单元中动子两侧的薄片状结构分别与驱动单元和钳位单元输出端的凹槽间隙配合。同时给钳位单元和驱动单元中的压电叠堆分别施...
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