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本实用新型是电磁控制柱形靶的电弧汽相淀积装置，是属于真空镀膜，多弧离子镀膜领域，其技术特征在于是用电磁线圈控制弧班运动的柱形靶的电弧汽相淀积装置，电磁线圈贯穿整个靶长，并通以直流或交变电流，使线圈整体在靶面上产生运动的电磁场，通过对线圈磁场...
该专利属于北京长城钛金技术联合开发公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京长城钛金技术联合开发公司授权不得商用。

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