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文档序号:18117527

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本发明提供一种半导体器件及半导体器件的制造方法。所述方法包括:提供包含核心电路的衬底,在所述衬底上形成有梳状顶部金属层,所述梳状顶部金属层与核心电路导电连接;在所述梳状顶部金属层上形成钝化层,在所述钝化层中形成露出部分所述顶部金属层的开口;...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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