下载快速扫描检测大面积光电器件的装置和方法的技术资料

文档序号:18113145

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本发明公开一种快速扫描检测大面积光电器件表面均匀性的装置和方法,装置主要用于对光电器件的均匀性进行快速扫描测试,包括光源装置以及定位架;光源装置包括驱动电源、多个子光源及多个导光件,驱动电源分别电连接各个子光源,驱动电源能依次点亮各个子光源...
该专利属于中国科学院高能物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院高能物理研究所授权不得商用。

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