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本实用新型是真空气相沉积技术中一种可控电弧蒸发加速器，由靶体，弧电源，靶室，磁场线圈，绝缘密封圈和真空室组成。靶室由可加长的圆筒状非导磁材料构成，靶室一端密封，该端内放置靶体，另一端通过密封圈与真空室连接，靶室外有磁场线圈，该线圈与靶体电气...
该专利属于机械工业部武汉材料保护研究所所有，仅供学习研究参考，未经过机械工业部武汉材料保护研究所授权不得商用。

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