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一种等离子体ＣＶＤ方法，其中，能沉积涂层材料的反应气体流过待涂敷表面，气体在装置中通过两微波输入件（７，８）馈入的微波激化成带状等离子体，该装置包括端壁（２，３）及一正方形截面的波导管（１），微波与等离子体耦合是用波导管棱边上的隙缝（６）实...
该专利属于肖特玻璃制造厂所有，仅供学习研究参考，未经过肖特玻璃制造厂授权不得商用。

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