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离子镀厚膜的方法及设备技术
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文档序号:1810541
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镀厚膜的方法及设备是一种离子镀的方法及设备。在离子镀装置的真空室内设有逐次增加镀料的机构,如穿入真空室的加料爪。在真空室设置工件及在相应的坩埚放入镀料,用电子束轰击坩埚内的镀料,镀料熔化蒸发对工件进行镀一层后,在真空条件下逐次向坩埚添加镀料...
该专利属于大连海运学院所有,仅供学习研究参考,未经过大连海运学院授权不得商用。
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