下载离子镀膜装置的技术资料

文档序号:1810532

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一种离子镀膜装置,在真空容器钟罩11内,设置可将指定数量的蒸发材料15供给至规定位置处的送料器30、31,同时,至少送料器30、31的滑板部32、33构造成可退避至蒸发物质的蒸发路径之外,无须打开门18,即能可靠地将指定数量的蒸发材料15供...
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