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一种具有矩形平板靶（１）并配置磁铁（１８）使磁力线（１６）相对靶（１）表面平行通过的溅射电极，通过配置能使磁力线（１６）方向作１８０度变更的构件（１７），在溅射中重复翻转磁路（１５）的极性，使磁场与电场产生的电子螺旋运动（１９）不只限于一个...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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