下载一种温度梯度分离硅中硬质夹杂的方法的技术资料

文档序号:18100739

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本发明涉及电子束熔炼技术领域,特别涉及一种温度梯度分离硅中硬质夹杂的方法。本发明利用电子束特征热场实现SiC、Si3N4等硬质夹杂的分离:结合碳、氮在硅中的溶解性质、硅熔体自身的性质以及电子束熔炼温度梯度大的特性,构建电子束特征热场,基于硅...
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