下载一种多晶硅还原炉及其炉筒内壁功能层的制备工艺的技术资料

文档序号:18100734

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本发明公开了一种多晶硅还原炉,包括炉筒(1),炉筒安装在底盘(6)上,炉筒由炉筒内壁(3)和炉筒外壁(10)组成,炉筒外壁与炉筒内壁之间设置水腔(4),炉筒上、中、下部位分布至少3个视镜孔,视镜孔贯穿炉筒内壁、外壁,炉筒下部设有冷媒体进入口...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司;厦门佰事兴新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏中能硅业科技发展有限公司;厦门佰事兴新材料科技有限公司授权不得商用。

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