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一种生长高定向BCN纳米管材料的方法技术
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文档序号:1809585
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本发明涉及用化学气相沉积法合成纳米材料及其工艺条件。本发明采用直流辉光放电等离子体定向工艺,用偏压辅助热丝化学气相沉积设备,在金属基片上直接生长出具有一系列不同电学特性的、取向高度一致的BCN纳米管材料。本发明所提供的纳米管材料将成为一种微...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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