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超硬纳米复合薄膜及其制作工艺，属于材料的陶瓷薄膜领域。其成分配方原子百分比为：Ｎｂ：２５－４０％，Ｓｉ：１－１５％，Ｎ：５０－６５％。其制备工艺为：在金属或陶瓷或其他材料的基体上利用三气源反应溅射沉积法制取Ｎｂ－Ｓｉ－Ｎ纳米复合薄膜，首先将...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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