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用于制造半导体装置的方法制造方法及图纸
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下载用于制造半导体装置的方法的技术资料
文档序号:18085763
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公开了一种用于制造半导体裸片的方法。所述方法包括:提供包括切割区域的晶片衬底,在所述切割区域外提供第一刻蚀停止材料,以及将晶片衬底向下朝着所述第一刻蚀停止材料刻蚀。还公开了一种半导体装置芯片。所述半导体装置芯片包括具有半导体装置的装置层和支...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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