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本实用新型公开了一种适用于太阳能电池硅片的扩散装置，包括扩散炉、设置于所述扩散炉内的石英舟、伸入所述扩散炉内用于通入扩散气体的进气管和排出扩散尾气的尾气管，所述进气管和所述尾气管分别设置于所述石英舟的上下两侧并沿着所述石英舟的长度方向设置，...
该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司授权不得商用。

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