温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于降低真空处理系统成本的方法和系统，是通过利用分开制造的部件来构成腔室壁、腔室顶板、腔室底板来实现的。由圆筒（例如，铝管或轧制环形锻件）来形成所说的腔室壁，然后把所说的腔室顶板和腔室底板气密封地封接到罐体的顶部和底部。并利用一些连接件...
该专利属于东京电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。