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一种溅射装置，包括：腔室，使成膜对象可移动地配置；多组阴极，以极性反转的两个为一组，设置在所述腔室内；以及多个ＡＣ阴极电源，分别连接到各组阴极，在施加交流电压使各组阴极同时放电时，使各自的输出频率及相位同步，使得各组阴极的放电没有干扰。由各...
该专利属于日本板硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本板硝子株式会社授权不得商用。

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