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本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种改善化合物半导体设备镀膜均匀性的新型传输臂，包括连接段和支撑段，连接段包括两个相互平行的连接杆，支撑段包括两个对称设置且同圆心的弧形支撑杆，弧形支撑杆的一端与对应的连接杆的一端连接；两个弧形...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。

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