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一种化学气相沉积装置,其包括有一炉管、一环绕该炉管的炉管加热装置、和连接该炉管的一反应气体进气装置、一保护气体进气装置、以及一抽气装置,其特征在于该炉管加热装置包括至少两加热段,该至少两热段可各自独立工作。...该专利属于鸿富锦精密工业(深圳)有限公司、鸿海精密工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鸿富锦精密工业(深圳)有限公司、鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。
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一种化学气相沉积装置,其包括有一炉管、一环绕该炉管的炉管加热装置、和连接该炉管的一反应气体进气装置、一保护气体进气装置、以及一抽气装置,其特征在于该炉管加热装置包括至少两加热段,该至少两热段可各自独立工作。...