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一种物理气相沉积系统，包括：　　　　一反应室，用于进行物理气相沉积反应；　　　　一温度控制装置，置于该反应室壁中；以及　　　　一准直管，置于该反应室壁之上，该准直管的边缘置于该温度控制装置之上，藉由调整该温度控制装置的温度，使得累积在该准直...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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