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本发明属于晶圆旋转涂覆的工艺技术领域，具体地说是一种废液收集杯的排风切换装置及其方法。所述装置包括分风盒、主风道、接口及排风切换机构，其中分风盒上设有分风盒进风口和分风盒出风口，所述分风盒进风口与废液收集杯的排风口连接，所述主风道上设有主风...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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